1、吸附式尾气处理设备，又称LocalScrubber，是半导体厂常用的小流量废气处理设备这类设备利用多孔性固体吸附剂，如活性炭等，处理混合气体，将有害物质吸附在固体表面，实现分离与净化吸附剂的选择性高，能有效清除其他处理过程难以分离开的混合物，且净化效率高，设备结构简单，操作方便，易于实现自动化控。2、废气处...